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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 ALE of SiO2 by alternating CF4 plasma with energetic Ar+ plasma beams 会议论文 7th international conference on microelectronics and plasma technology 作者:  Dong W(董婉);  Dai ZL(戴忠玲);  Song YH(宋远红);  Wang YN(王友年) 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2019/12/02 Accuracy control of SiO2 etching in inductively coupled CF4/Ar plasmas 会议论文 1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, 18-23, 09.2017 作者:  Dai ZL(戴忠玲);  Wang YN(王友年) 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/02 Change of hydrophobicity on silicone rubber modified by CF4 capacitively coupled plasma and inductively coupled plasma 会议论文 5th International Conference on Surface Engineering, Dalian Univ Technol, Dalian, PEOPLES R CHINA, 2008-01-01 作者:  Gao, S. H.;  Liu, Y.;  Lei, M. K.;  Wen, L. S. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/27 silicone rubber  hydrophobicity  radio frequency plasma  contact angle   Change of hydrophobicity on silicone rubber modified by CF4 capacitively coupled plasma and inductively coupled plasma 会议论文 Key Engineering Materials, 2008-01-01 作者:  Gao, S.H.;  Liu, Y.;  Lei, M.K.;  Wen, L.S. 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27