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会议论文 [9]
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2013 [1]
2011 [1]
2009 [2]
2004 [1]
2003 [1]
2002 [2]
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不同射频功率下基于多功率源梯度过渡层的掺硅非晶碳膜的制备及水润滑性能
会议论文
第十一届摩擦学大会, 2013-08-06
作者:
黄一鸣[1]
;
吴行阳[2]
;
邓兆兴[3]
;
张建华[4]
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/04/30
非晶碳基薄膜
水润滑
梯度过渡层
梯度过渡层对非晶含氢碳膜性能的影响
会议论文
青年摩擦学者与“十二五”发展——2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议
作者:
吴行阳[1]
;
大花继赖[2]
;
中村拳子[3]
;
田中章浩[4]
;
张建华[5]
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/04/30
非晶含氢碳膜
梯度过渡层
磁控溅射
反应性溅射
水润滑
碳化钛掺杂含氢类金刚石薄膜的力学和机械性能研究
会议论文
2009年全国青年摩擦学学术会议
作者:
王云锋
;
王立平
;
张广安
;
闫鹏勋
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/06/25
类金刚石薄膜
碳化钛
薄膜材料
纳米晶粒
复合结构
磁控溅射
石墨化
微电子机械系统
反应气体
半导体材料
采用直流脉冲等离子体化学气相沉积制备的含氢非晶碳膜的应力释放行为
会议论文
2009年全国青年摩擦学学术会议
作者:
王琦
;
王舟
;
张俊彦
;
贺德衍
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/06/24
非晶碳
应力释放
等离子化学
结构表征
薄膜结构
气相沉积技术
类金刚石
碳膜
直流脉冲
样品结构
电弧离子镀沉积富碳的TiC薄膜研究
会议论文
2004年中国材料研讨会, 北京, 2004-11-01
宋贵宏
;
邹友生
;
陈立佳
;
李锋
;
王启民
;
宫骏
;
孙超
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/08/21
复合膜层
碳化钛薄膜
离子镀
类金刚石膜
脉冲磁过滤阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜
会议论文
TFC’03全国薄膜技术学术研讨会, 中国浙江宁波, 2003-09-01
作者:
张成武
;
李国卿
;
柳翠
;
关秉羽
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/02
脉冲磁
非晶碳
场致发光
高热稳定性
高弹性模量
amorphous
生物相容性
薄膜性能
磁过滤
禁带
不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究
会议论文
第七届全国摩擦学大会会议
作者:
阎逢元
;
韩修训
;
张爱民
;
阎鹏勋
;
许世红
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2015/06/24
离子注入
非晶碳膜
湿度
摩擦性能
不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究
会议论文
第七届全国摩擦学大会, 兰州, 2002-08-05
作者:
阎逢元
;
韩修训
;
张爱民
;
阎鹏勋
;
许世红
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/02
离子注入
非晶碳膜
湿度
摩擦性能
铬离子
单晶硅
室温溅射制备的α-SiCN:H膜的结构和光电特性研究
会议论文
材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会
作者:
吴现成
;
王印月
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/06/25
反应溅射
光电特性
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