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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2004 [1]
2003 [1]
2002 [1]
学科主题
Physics, M... [3]
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学科主题:Physics, Multidisciplinary
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Applications of cubic MgZnO thin Films in metal-insulator-silicon structures
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 1135-1138
Liang, J
;
Wu, HZ
;
Lao, YF
;
Qiu, DJ
;
Chen, NB
;
Xu, TN
收藏
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提交时间:2012/03/24
GATE DIELECTRICS
TEMPERATURE
TRANSPORT
SI(111)
Microstructural and electrical properties of ZrO2 thin films prepared on silicon on insulator with thin top silicon
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 273-276
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Shen, QW
;
Lin, CL
收藏
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提交时间:2012/03/24
FIELD-EFFECT-TRANSISTORS
K GATE DIELECTRICS
THERMAL-STABILITY
RELIABILITY
SI
High-quality ZrO2 thin films deposited on silicon by high vacuum electron beam evaporation
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2002, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: 395-397
Zhang, NL
;
Wan, Q
;
Song, ZT
;
Shen, QW
;
Zhu, XR
;
Lin, CL
收藏
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提交时间:2012/03/24
GATE DIELECTRICS
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