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科研机构
上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2009 [1]
1999 [1]
学科主题
Physics, A... [2]
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学科主题:Physics, Applied
专题:上海微系统与信息技术研究所
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The use of nanocavities for the fabrication of ultrathin buried oxide layers
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 11903-11903
Ou, X
;
Kogler, R
;
Mucklich, A
;
Skorupa, W
;
Moller, W
;
Wang, X
;
Vines, L
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
SOI MOSFETS
SILICON
SI
HELIUM
SEPARATION
DEFECTS
TEMPERATURE
HYDROGEN
BUBBLES
Comparison of Cu gettering to H+ and He+ implantation-induced cavities in separation-by-implantation-of-oxygen wafers
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1999, 卷号: 85, 期号: 1, 页码: 94-98
Zhang, MA
;
Lin, CL
;
Duo, XZ
;
Lin, ZX
;
Zhou, ZY
收藏
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  |  
提交时间:2012/03/25
ION-IMPLANTATION
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