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科研机构
上海微系统与信息技... [21]
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期刊论文 [21]
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学科主题:Engineering, Electrical & Electronic
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Self-Aligned Thermoelectric Infrared Sensors With Post-CMOS Micromachining
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2010, 卷号: 31, 期号: 5, 页码: 512-514
Xu, DH
;
Xiong, B
;
Wang, YL
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
Design and Fabrication of a Hollow Micro-disk Mass Sensor
期刊论文
2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 1138-1141
Zhao, L
;
Jiao, J
;
Zhang, Y
;
Mi, B
;
Gu, J
;
Zhou, P
;
Zhang, X
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
YOUNG'S MODULUS SIZE EFFECT OF SCS NANOBEAM BY TENSILE TESTING IN ELECTRON MICROSCOPY
期刊论文
2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 205-208
Jin, QH
;
Li, T
;
Wang, YL
;
Li, XX
;
Yang, H
;
Xu, FF
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2011/12/17
MECHANICAL-PROPERTIES
SILICON
FABRICATION
AFM
A non-isothermal model for squeeze film damping of rarefied gas
期刊论文
2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 213-216
Yang, H
;
Cheng, HT
;
Dai, B
;
Li, XX
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2011/12/17
POLYSILICON
REGIME
MEMS
Doubly clamped nanobeam as a piezoresistive mass sensor
期刊论文
2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2007, 页码: 1168-1171
Jiao, JW
;
Zhao, QB
;
Yang, H
;
Li, T
;
Li, XX
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2011/12/17
FORCE MICROSCOPE
CANTILEVERS
Micro IR spectrometer based on blaze grating
期刊论文
2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2007, 页码: 904-907
Zhou, H
;
Li, T
;
Wang, Y
;
Li, X
;
Wang, Y
收藏
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浏览/下载:67/0
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提交时间:2011/12/17
SILICON
High yield front-etched structure for CMOS compatible IR detector
期刊论文
2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2007, 页码: 500-502
Li, T
;
Liu, YD
;
Zhou, P
;
Wang, Y
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2011/12/17
TECHNOLOGY
ARRAY
Micro-heater on membrane with large uniform-temperature area
期刊论文
2006 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2006, 页码: 571-575
Li, T
;
Wu, L
;
Liu, YX
;
Wang, LC
;
Wang, Y
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
DESIGN
Trace TNT vapor detection with an SAM-functionalized piezoresistive SiO2 microcantilever
期刊论文
2006 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2006, 页码: 749-752
Zuo, GM
;
Li, XX
;
Li, P
;
Wang, YL
;
Cheng, ZX
;
Feng, SL
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2011/12/17
POLYMER-FILMS
EXPLOSIVES
SENSORS
RECOGNITION
COATINGS
An axial-beam piezoresistive accelerometer for high-performance crash detection of automotive industry
期刊论文
2006 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2006, 页码: 1481-1484
Dong, PT
;
Li, XX
;
Wang, YL
;
Feng, SL
;
Li, SY
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2011/12/17
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