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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication and characterisation of polysilicon-based clamped-clamped filter 期刊论文 key engineering materials, 2011, 卷号: 483, 页码: 112-116 Zhao, Yongmei; Ning, Jin; Han, Guowei; Si, Chaowei 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/06/14 Electromechanical filters  Fabrication  Microelectromechanical devices  Nanotechnology  Polysilicon  Resonators  Technology   An Effective Approach for Restraining Galvanic Corrosion of Polycrystalline Silicon by Hydrofluoric-Acid-Based Solutions 期刊论文 journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 470-475 Liu YF; Xie J; Zhang ML; Yang JL; Yang FH 收藏  |  浏览/下载：52/1  |  提交时间：2011/07/06 Galvanic corrosion  polysilicon  resistivity  titanium (Ti) redox sacrificial layer  POLYSILICON  OXIDATION   In-situ Boron-doped Low-stress LPCVD Polysilicon for Micromechanical Disk Resonator 会议论文 9th international conference on solid-state and integrated-circuit technology, beijing, peoples r china, oct 20-23, 2008 Liu, YF; Xie, J; Yang, JL; Tang, LJ; Yang, FH 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2010/03/09 FILMS   Design of Low Power Multi-Standard Active-RC Filter for WLAN and DVB-H 会议论文 9th international conference on solid-state and integrated-circuit technology, beijing, peoples r china, oct 20-23, 2008 Ma HP; Yuan F; Chen B; Shi Y; Dai FF 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2010/03/09