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科研机构
上海光学精密机械研... [10]
内容类型
期刊论文 [10]
发表日期
2008 [1]
2007 [5]
2006 [1]
2005 [2]
1996 [1]
学科主题
光学薄膜 [10]
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学科主题:光学薄膜
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85
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Study on the layer structure of W/C multilayers deposited by magnetron sputtering using x-ray reflectivity
期刊论文
surf. interface anal., 2008, 卷号: 40, 期号: 12, 页码: 1562, 1565
Deng Songwen
;
Qi Hongji
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:973/119
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提交时间:2009/09/22
multilayer structure
x-ray reflectivity
interface
magnetron sputtering
Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
收藏
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浏览/下载:820/182
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:501/116
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
软X射线反射率
表面粗糙度
界面粗糙度
膜层数
Atomic force microscopy
Magnetron sputtering
Reflection
Surface roughness
Synchrotron radiation
X ray diffraction analysis
研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟
期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 300, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:996/152
  |  
提交时间:2009/09/22
软X射线
多层膜
扩散屏障层
Mo/Si
反射率
模拟
8.0nm反射式偏振膜的设计和制备
期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 2049
吕超
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1027/257
  |  
提交时间:2009/09/22
多层膜
Multilayer
软X射线
Soft X-ray
偏振
Polarization
准布儒斯特角
Bruster angle
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
收藏
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浏览/下载:928/163
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提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率
期刊论文
光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 1191, 1193
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:817/81
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提交时间:2009/09/22
余弦模型
梯度折射率
多层膜
软X射线反射率
退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 2, 页码: 217, 221
田光磊
;
黄建兵
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:635/158
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提交时间:2009/09/22
退火
Annealing
ZrO2薄膜
ZrO
2
coatings
激光损伤阈值
Laser-induced damage threshold
X射线衍射
XRD
弱吸收
Weak absorption
退火对电子束热蒸发Al2O3薄膜性能影响的实验研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 511, 514
尚淑珍
;
廖春艳
;
易葵
;
张东平
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:428/64
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提交时间:2009/09/22
紫外
Ultraviolet
退火
Annealing
微结构
Microstructure
光学损耗
Optical loss
吸收
Absorption
Diffraction at 8-keV x-rays of Bragg-Fresnel optics
期刊论文
opt. eng., 1996, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 467, 469
Yuan LX
;
范正修
;
Wang RW
收藏
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浏览/下载:726/106
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提交时间:2009/09/22
diffraction
Bragg-Fresnel optics
soft x ray
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