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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2022     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Wave propagation and power deposition in blue-core helicon plasma 期刊论文 FRONTIERS IN PHYSICS, 2022, 卷号: 10 作者:  Chang, L.;  Caneses, J. F.;  Thakur, S. C. 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2022/12/23 helicon plasma  blue-core  wave propagation  power deposition  wave guide   The application of a helicon plasma source in reactive sputter deposition of tungsten nitride thin films 期刊论文 Plasma Science and Technology, 2022, 卷号: 24 作者:  YANG,Yan;  JI,Peiyu;  LI,Maoyang;  YU,Yaowei;  HUANG,Jianjun 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2022/12/22 helicon wave plasma  reactive sputtering  tungsten nitride  plasma diagnosis   First Helicon Plasma Physics and Applications Workshop 期刊论文 FRONTIERS IN PHYSICS, 2022, 卷号: 9 作者:  Chang, Lei;  Boswell, Rod;  Luo, Guangnan 收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2022/03/28 helicon wave  helicon discharge  helicon plasma  helicon  workshop