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大连理工大学 [1]
上海大学 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2017 [2]
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发表日期:2017
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钇掺杂量和膜厚对HfO2纳米薄膜相结构的影响
期刊论文
功能材料, 2017, 卷号: 48, 页码: 10154-10158
作者:
杨喜锐
;
王雪霞
;
周大雨
;
徐进
;
闫泳
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提交时间:2019/12/03
HfO2薄膜
相变
钇含量
膜厚
溶胶-凝胶
离子源偏压对PIA-EB-Hf法制备的HfO_2激光薄膜性能的影响
期刊论文
无机材料学报, 2017, 卷号: 32, 页码: 69-74
作者:
Fu Chao-Li[1]
;
Yang Yong[2]
;
Ma Yun-Feng[3]
;
Wei Yu-Quan[4]
;
Jiao Zheng[5]
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2019/04/24
HfO2薄膜
等离子体辅助电子束蒸发
离子源偏压
微观结构
激光损伤
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