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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Nonuniform plasma diffusion and multi-pulse effect in plasma-based ion implantation 期刊论文 NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2015, 卷号: 343, 页码: 83-88 作者:  Zheng, B. C.;  Lei, M. K. 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/09 Plasma-based ion implantation (PBII)  Fluid model  Plasma diffusion  Multi-pulse