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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2015    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Discussion and analysis of Au/a-Si contact resistance in MEMS/NEMS devices 其他 2015-01-01 Fu, Fengshan; Yang, Fang; Wang, Wei; Huang, Xian; He, Jun; Zhang, Li; Guan, Taotao; Li, Rui; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03 Discussion and Analysis of Au/a-Si Contact Resistance in MEMS/NEMS Devices 其他 2015-01-01 Fu, Fengshan; Yang, Fang; Wang, Wei; Huang, Xian; He, Jun; Zhang, Li; Guan, Taotao; Li, Rui; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/12/03 anodic bonding  contact resistance  bonded vertical Kelvin method  WAFER