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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2011    内容类型：会议论文    专题：沈阳自动化研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A nanochannel system fabricated by MEMS microfabrication and atomic force microscopy 会议论文 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2011, Kaohsiung, Taiwan, February 20-23, 2011 作者:  Wang ZQ(王志迁);  Wang D(王栋);  Jiao ND(焦念东);  Tung, S.;  Dong ZL(董再励) 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/06/06 Atomic force microscopy  Electric fields  Electrodes  Ethanol  MEMS  Microanalysis  Micromachining  Nanofluidics  Nanolithography  Silicon oxides