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科研机构
清华大学 [3]
内容类型
会议论文 [3]
发表日期
2010 [3]
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发表日期:2010
内容类型:会议论文
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大范围纳米结构测量系统原子力测头的研究
会议论文
2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二), 2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会, 中国四川成都, CNKI, 《仪器仪表学报》杂志社、中国仪器仪表学会、电子科技大学、《电子测量技术》、《国外电子测量技术》
卢明臻
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高思田
;
杜华
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崔建军
;
Lu Mingzhen
;
Gao Sitian
;
Du Hua
;
Cui Jianjun
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An atomic force microscope head designed for nanometrology
会议论文
MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY, 4th International Symposium on Instrumentation Science and Technology, Harbin, PEOPLES R CHINA, Web of Science
Lu, Mingzhen
;
Gao, Sitian
;
Jin, Qihai
;
Cui, Jianjun
;
Du, Hua
;
Gao, Hongtang
收藏
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浏览/下载:3/0
The mechanical study on a closed and V style MEMS planar microspring
会议论文
PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MECHANICAL ENGINEERING AND MECHANICS 2007, VOLS 1 AND 2, International Conference on Mechanical Engineering and Mechanics, Wuxi, PEOPLES R CHINA, Web of Science
Li, Hua
;
Shi, Gengchen
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