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科研机构
上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2001 [2]
学科主题
Physics, M... [2]
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发表日期:2001
学科主题:Physics, Multidisciplinary
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Preparation of AlN films by ion-beam-enhanced deposition
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2001, 卷号: 18, 期号: 9, 页码: 1282-1284
Men, CL
;
Xu, Z
;
Zheng, ZH
;
Duo, XZ
;
Zhang, M
;
Lin, CL
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
NITRIDE FILMS
TEMPERATURE
ALUMINUM
Investigations into electron spin resonance in doped nanocrystalline silicon films
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2001, 卷号: 50, 期号: 3, 页码: 512-516
Liu, XN
;
Xu, GY
;
Sui, YX
;
He, YL
;
Bao, XM
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
MICROCRYSTALLINE SILICON
PHOTOLUMINESCENCE
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