一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置 | |
杨洋; 刘连庆; 焦念东; 于鹏; 刘柱; 周磊; 王栋 | |
2015-11-25 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN105092900B |
专利类型 | 发明授权 |
产权排序 | 1 |
权利人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
其他题名 | Scanning probe clamping device for atomic force microscope |
中文摘要 | 本发明涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置,包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹;所述探针夹连接器固定于固定夹具上,并与探针夹连接。本发明探针夹体积小、质量轻,能够固定到压电陶瓷驱动器上,可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构设计中;能够实现探针夹的快速装卸、探针的快速安装和固定,以及为探针提供纳米级位移的振动。 |
是否PCT专利 | 否 |
英文摘要 | The invention relates to a scanning probe clamping device for atomic force microscope; the device comprises a fixed clamp, a probe clamping connector, and a probe clamp; the probe clamping connector is fixed to the fixed clamp and is connected to the probe clamp. The device of the invention is small in size and light in weight; it can be secured to a piezoelectric ceramic driver and can be applied to a reversed-type atomic force microscope scanning head. The clamping device is able to realize the fast detachment of a probe clamp, the fast mounting and fixing of a probe and the vibration of Nano grade provided to the probe. |
公开日期 | 2018-01-02 |
申请日期 | 2014-05-20 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN201410214080.0 |
专利代理 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/21451] |
专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨洋,刘连庆,焦念东,等. 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置. CN105092900B. 2015-11-25. |
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