一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置

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	一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置
	于鹏; 刘柱; 周磊; 杨洋; 王栋; 刘连庆; 焦念东
	2015-11-25
专利国别	中国
专利号	CN105092900A
专利类型	发明
产权排序	1
权利人	中国科学院沈阳自动化研究所
其他题名	Scanning probe clamping device for atomic force microscope
中文摘要	本发明涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹；所述探针夹连接器固定于固定夹具上，并与探针夹连接。本发明探针夹体积小、质量轻，能够固定到压电陶瓷驱动器上，可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构设计中；能够实现探针夹的快速装卸、探针的快速安装和固定，以及为探针提供纳米级位移的振动。
是否PCT专利	否
英文摘要	The invention relates to a scanning probe clamping device for atomic force microscope; the device comprises a fixed clamp, a probe clamping connector, and a probe clamp; the probe clamping connector is fixed to the fixed clamp and is connected to the probe clamp. The device of the invention is small in size and light in weight; it can be secured to a piezoelectric ceramic driver and can be applied to a reversed-type atomic force microscope scanning head. The clamping device is able to realize the fast detachment of a probe clamp, the fast mounting and fixing of a probe and the vibration of Nano grade provided to the probe.
申请日期	2014-05-20
语种	中文
专利申请号	CN201410214080.0
专利代理	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
内容类型	专利
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/17296]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	于鹏,刘柱,周磊,等. 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置. CN105092900A. 2015-11-25.