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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于电子束曝光技术的三维微结构研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2008 1宋志,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束曝光  微细加工  三维微结构  曝光工艺  软件系统 Electron beam lithography  Micro-Nanofabrication  Three-dimensional microstructures  Lithography process  Software system