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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2004 [1]
2000 [1]
1991 [1]
学科主题
Physics, C... [3]
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学科主题:Physics, Condensed Matter
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Optimized implant dose and energy to fabricate high-quality patterned SIMOX SOI materials
期刊论文
SOLID STATE COMMUNICATIONS, 2004, 卷号: 130, 期号: 3-4, 页码: 275-279
Dong, YM
;
Chen, J
;
Wang, X
;
Chen, M
;
Wang, X
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提交时间:2012/03/24
SILICON-ON-INSULATOR
OXYGEN-ION-IMPLANTATION
SEPARATION
EVOLUTION
DESIGN
Spectroscopic ellipsometry study of SiC/Si heterostructures formed by high-dose C+ implantation into silicon
期刊论文
SOLID STATE COMMUNICATIONS, 2000, 卷号: 116, 期号: 3, 页码: 177-180
Yang, SH
;
Chen, DH
;
Li, HQ
;
Zhang, YL
;
Mo, D
;
Wong, SP
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
ARC ION-SOURCE
CARBON IMPLANTATION
AN INFRARED-ABSORPTION BAND CAUSED BY H+ IMPLANTATION IN LINBO3 CRYSTALS
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS-CONDENSED MATTER, 1991, 卷号: 3, 期号: 23, 页码: 4145-4150
FENG, XQ
;
SHAO, TH
;
ZHANG, JZ
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提交时间:2012/03/25
ION-IMPLANTATION
HELIUM
OH
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