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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：半导体器件     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Research on nitrogen implantation energy dependence of the properties of SIMON materials 期刊论文 nuclear instruments & methods in physics research section b-beam interactions with materials and atoms, 2006, 卷号: 242, 期号: 1-2, 页码: 585-587 Zhang EX; Sun JY; Chen J; Chen M; Zhang ZX; Li N; Zhang GQ; Wang X 收藏  |  浏览/下载：285/0  |  提交时间：2010/04/11 nitrogen  ion implantation  SIMOX  implantation energy  C-V measurement  CHARGE  OXYGEN  OXIDES  LAYERS