QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Feature-Scale Simulations of Particulate Slurry Flows in Chemical Mechanical Polishing by Smoothed Particle Hydrodynamics 其他 2014-01-01 Wang, Dong; Shao, Sihong; Yan, Changhao; Cai, Wei; Zeng, Xuan 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/16 Chemical mechanical polishing  smoothed particle hydrodynamics  particulate flow  rough pad  wafer defects  abrasive concentration  MATERIAL REMOVAL RATE  NUMERICAL-SIMULATION  CONTACT-MECHANICS  MOLECULAR SCALE  FLUID PRESSURE  SPH  CMP  PLANARIZATION  MODEL  SIZE