×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
上海微系统与信息技... [11]
内容类型
期刊论文 [10]
会议论文 [1]
发表日期
2011 [3]
2010 [2]
2007 [1]
2005 [1]
1993 [1]
1990 [2]
更多...
学科主题
Physics, A... [2]
Crystallog... [1]
Engineerin... [1]
Engineerin... [1]
Physics, C... [1]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共11条,第1-10条
帮助
限定条件
专题:上海微系统与信息技术研究所
第一署名单位
第一作者单位
通讯作者单位
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
题名升序
题名降序
作者升序
作者降序
Thermopile ir detector with filter cointegrated by wafer bonding technique
期刊论文
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS).2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011, 2011, 页码: 724-727
Xu, D.H.
;
Xiong,B.
;
Jing, E.R.
;
Wu, G.Q.
;
Wang,YL
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2012/08/23
Thermopile ir detector with filter cointegrated by wafer bonding technique
期刊论文
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS).2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011, 2011, 页码: 724-727
Xu, D.H.
;
Xiong,B.
;
Jing, E.R.
;
Wu, G.Q.
;
Wang,YL
收藏
  |  
浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2012/08/23
Thermopile IR detector with filter cointegrated by wafer bonding technique
会议论文
IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2011
Xu, D. H.
;
Xiong, B.
;
Jing, E. R.
;
Wu, G. Q.
;
Wang, Y. L.
收藏
  |  
浏览/下载:22/0
  |  
提交时间:2012/05/04
Low-temperature Au/Si wafer bonding
期刊论文
ELECTRONICS LETTERS, 2010, 卷号: 46, 期号: 16, 页码: 1143-U72
Jing, E
;
Xiong, B
;
Wang, Y
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2012/03/24
GOLD
Low-temperature Au/Si wafer bonding
期刊论文
ELECTRONICS LETTERS, 2010, 卷号: 46, 期号: 9 Article Number, 页码: 1143-U72
Jing, E
;
Xiong, B
;
Wang, Y
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2012/05/12
A novel approach to compare the charge buildup induced by Co-60 and X-ray radiation in SOI buried oxides
期刊论文
ICSICT-2006: 2006 8th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, Proceedings, ICSICT-2006: 2006 8th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, Proceedings, 2007, p 257-259, 2007, 页码: 257-259
Tian, H. (State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences)
;
Zhang, Zh.X.
;
Zhang, E.X.
;
He, W.
;
Yang, H.
;
Yu, W.J.
;
Wang, X
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2012/06/13
Effect of ion-induced defects and oxygen concentration in annealing atmosphere on formation of buried oxide layer in SIMOX materials
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2005, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 305-309
Chen, J
;
Wang, X
;
Jin, B
;
Zhang, E
;
Sun, J
;
Wang, X
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2012/03/24
IMPLANTED SILICON
ISOTOPIC EXCHANGE
ON-INSULATOR
SI
TEMPERATURE
DIFFUSION
OPTICAL FILTERING IN THE COLLECTION PATH OF A DATA-STORAGE DEVICE
期刊论文
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 1993, 卷号: 32, 期号: 11B, 页码: 5397-5401
MILSTER, TD
;
WANG, MS
;
LI, WQ
;
WALKER, E
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2011/12/17
SUPERRESOLUTION
INFLUENCE OF IN-DOPING ON DISLOCATIONS IN LIQUID ENCAPSULATED CZOCHRALSKI (LEC) GROWN GALLIUM-ARSENIDE
期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 1990, 卷号: 102, 期号: 4, 页码: 701-705
WU, J
;
MO, PG
;
WANG, GY
;
BENAKKI, S
;
CHRISTOFFEL, E
;
GOLTZENE, A
;
SCHWAB, C
;
WANG, JR
;
LEE, CH
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2012/03/25
EPR EVIDENCE FOR AS INTERSTITIAL-RELATED DEFECTS IN SEMI-INSULATING GAAS
期刊论文
PHYSICAL REVIEW B, 1990, 卷号: 42, 期号: 6, 页码: 3461-3468
CHRISTOFFEL, E
;
BENCHIGUER, T
;
GOLTZENE, A
;
SCHWAB, C
;
WANG, GY
;
WU, J
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2012/03/25
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace