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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Diamond surface micromachining technology 期刊论文 DIAMOND AND RELATED MATERIALS, 1999, 卷号: 8, 期号: 10, 页码: 1834-1837 Yang, YR; Wang, XD; Ren, CX; Xie, JF; Lu, PF; Wang, WY 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/03/25 POLYCRYSTALLINE DIAMOND   Fabrication of polycrystalline diamond film resonators 期刊论文 MICROMACHINING AND MICROFABRICATION PROCESS TECHNOLOGY IV, 1998, 卷号: 3511, 页码: 169-173 Wang, XD; Yang, YR; Xie, JF; Wang, WY; Ren, CX 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/03/25 A REACTIVE ION-BEAM ETCHING AND COATING SYSTEM 期刊论文 NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1985, 卷号: 6, 期号: 1-3, 页码: 447-451 ZHANG, YC; WU, YM; REN, CX; FU, XD; CHEN, GM 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2011/12/17 TOPOGRAPHICAL CHANGES INDUCED BY LOW-ENERGY ION-BEAM SPUTTERING AT OBLIQUE-INCIDENCE 期刊论文 RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS, 1983, 卷号: 77, 期号: 3-4, 页码: 177-193 REN, CX; CHEN, GM; FU, XD; YANG, J; FANG, HL; TSOU, SC 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/25