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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：新疆理化技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Etching of new phase change material Ti0.5Sb2Te3 by Cl-2/Ar and CF4/Ar inductively coupled plasmas 期刊论文 Applied Surface Science, 2014, 卷号: 311, 期号: 8, 页码: 68-73 作者:  Zhang, Zhonghua;  Song, Sannian;  Song, Zhitang;  Cheng, Yan;  Zhu, Min 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2014/11/11 Phase change material  Ti-Sb-Te  Etching  ICP