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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2012 [1]
2011 [1]
2010 [1]
2005 [1]
学科主题
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A High-Performance Three-Dimensional Microheater-Based Catalytic Gas Sensor
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 284-286
Xu, L
;
Li, T
;
Gao, XL
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2013/04/23
Catalytic gas sensors
concave active membrane
methane
Pd-Pt
sol-gel
3-D microheater
Development of a Reliable Micro-Hotplate With Low Power Consumption
期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2011, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 913-919
Xu,L
;
Li,T
;
Gao,XL
;
Wang,YL
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2012/04/12
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
Demonstration of Super-Collimation in SOI Photonic Crystal Fabricated by 0.13 mu m CMOS Technology
期刊论文
INEC: 2010 3RD INTERNATIONAL NANOELECTRONICS CONFERENCE, VOLS 1 AND 2, 2010, 期号: 0, 页码: 1319-1320
Wu,AM
;
Yang,ZF
;
Lin,XL
;
Jiang,XY
;
Gan,FW
;
Zhang,MA
;
Wang,X
;
Zou,SC
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/03/24
WAVE-GUIDES
Hydrogen effects on fabrication of SGOI by oxidation of SiGe layers on SOI wafers
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2005, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: L1-L4
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Wang,YJ
;
Xiao,HB
;
Zhang,F
;
Zou,SC
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2012/03/24
SIMOX TECHNOLOGY
SILICON
MOSFETS
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