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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：1985     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A REACTIVE ION-BEAM ETCHING AND COATING SYSTEM 期刊论文 NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1985, 卷号: 6, 期号: 1-3, 页码: 447-451 ZHANG, YC; WU, YM; REN, CX; FU, XD; CHEN, GM 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2011/12/17