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用硅烷和乙烯辉光放电法制备的a-Si_xC_(1-x):H薄膜及光电性能的研究 期刊论文
半导体学报/Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors, 1983, 卷号: 4, 期号: 2, 页码: 149-153
作者:  陈光华;  张仿清;  杜宁;  徐希翔
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