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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Fracture properties of PECVD silicon nitride thin films by long rectangular memrane bulge test 会议论文 3rd ieee international conference of nano/micro engineered and molecular systems, sanya, peoples r china, jan 06-09, 2008 Zhou, W; Yang, JL; Li, Y; Yang, FH 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2010/03/09 bulge test  fracture property  silicon nitride  Weibull distribution function