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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 电子束曝光建模仿真及其在高精度图形保真研究中的应用 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2007 1赵国荣,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束曝光  相对论修正  二次电子  线条边缘粗糙度  极紫外光刻 Electron Beam Lithography  Relativity Correction  Secondary Electron  Line Edge Roughness  Extreme Ultraviolet Lithography