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A novel anti-shock silicon etching apparatus for solving diaphragm release problems 外文期刊
2010
作者:  Ye, TC;  Xu, QX;  Jing, YP;  Ou, Y;  Chen, DP
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/11/26
Effect of radio frequency power on the inductively coupled plasma etched Al0.65Ga0.35N surface 外文期刊
2010
作者:  Liu, XY;  Bai, Y;  Liu, J;  Ma, P;  Li, B
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/11/26
Phase zone photon sieve 外文期刊
2009
作者:  Xie, CQ;  Jia, J
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/11/26
High-rate reactive ion etching of barium hexaferrite films using optimal CHF3/SF6 gas mixtures 外文期刊
2009
作者:  Yang, QH;  Vittoria, C;  Harris, VG;  Yang, A;  Xie, CQ
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/11/26
Ordered Arrays of Vertically Aligned [110] Silicon Nanowires by Suppressing the Crystallographically Preferred Etching Directions 外文期刊
2009
作者:  Senz, S;  Huang, ZP;  Shimizu, T;  Zhang, Z;  Zhang, XX
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/11/26
Gate oxide punching thru mechanism in plasma dry etching 外文期刊
2008
作者:  Zhang, QZ;  Xie, CQ;  Liu, M;  Li, B;  Chen, BQ
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/11/26
Ordered InAs quantum dots with controllable periods grown on stripe-patterned GaAs substrates 外文期刊
2007
作者:  Ren, YY;  Xu, B;  Wang, ZG;  Liu-Ming;  Long, SB
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/11/26
Photoresist etching by atmospheric pressure uniform-glow plasma 外文期刊
2007
作者:  Wang, SG;  Xu, XY;  Zhao, LL;  Ye, TC
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/11/26
Etched-diffraction-grating-based planar waveguide demultiplexer on silicon-on-insulator 外文期刊
2004
作者:  Wang, WH;  Tang, YZ;  Wang, YX;  Qu, HC;  Wu, YM
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Study on an atmospheric pressure plasma jet and its application in etching photo-resistant materials 外文期刊
2004
作者:  Li, HJ;  Wang, SG;  Zhao, LL;  Ye, TC
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/11/26

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