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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：259/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   多层电介质反射式光栅的热光效应研究 学位论文 作者:  公维超 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/12/26 光谱合成  Spectral beam combining  多层电介质光栅  Multilayer dielectric grating  光栅热效应  Grating thermal effects  泰曼-格林干涉仪  Twyman-Green interferometer  衍射特性  Diffraction characteristic