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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2009 [1]
2008 [1]
学科主题
光学薄膜 [2]
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学科主题:光学薄膜
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Optical properties and microstructure of Ta2O5 biaxial film
期刊论文
appl. optics, 2009, 卷号: 48, 期号: 1, 页码: 127, 133
齐红基
;
Xiao Xiudi
;
贺洪波
;
Yi Kui
;
范正修
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提交时间:2009/09/22
SCULPTURED THIN-FILMS
PRINCIPAL REFRACTIVE-INDEXES
SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY
CONSTANT DETERMINATION
OBLIQUE DEPOSITION
TANTALUM OXIDE
PRISM COUPLER
MATRIX
ANGLE
PARAMETERS
倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展
期刊论文
稀有金属材料与工程, 2008, 卷号: 37, 期号: 8, 页码: 1317, 1322
肖秀娣
;
董国平
;
余华
;
范正修
;
贺洪波
;
邵建达
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  |  
提交时间:2009/09/22
倾斜沉积
glancing angle deposition
雕塑薄膜
sculptured thin film (STF)
各向异性
anisotropy
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