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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：河北大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Low temperature deposition of hydrogenated nanocrystalline SiC films by helicon wave plasma enhanced chemical vapor deposition 期刊论文 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2010, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 1234-1239 作者:  Yu, Wei[1];  Lu, Wanbing[2];  Teng, Xiaoyun[3];  Ding, Wenge[4];  Han, Li[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/21 Fabrication of nanocrystalline silicon carbide thin film by helicon wave plasma enhanced chemical vapour deposition 期刊论文 THIN SOLID FILMS, 2007, 卷号: 515, 期号: 5, 页码: 2949-2953 作者:  Yu, Wei[1];  Lu, Wanbing[2];  Yang, Yanbin[3];  Wang, Chunsheng[4];  Zhang, Li[5] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/31 silicon carbide  nanostructures  plasma processing and deposition   Epitaxial growth of ZnO films by helicon-wave-plasma-assisted sputtering 期刊论文 PHYSICA B-CONDENSED MATTER, 2006, 卷号: 382, 期号: 1-2, 页码: 17-20 作者:  Fu, GS[1];  Xu, HJ[2];  Wang, SF[3];  Yu, W[4];  Sun, W[5] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/31 ZnO films  epitaxy  Helicon wave plasma  sputtering   Amorphous silicon nano-particles in a-SiNx : H prepared by helicon wave plasma-enhanced chemical vapour deposition 会议论文 12th International Symposium on Small Particles and Inorganic Clusters, 2005-07-10 作者:  Fu, GS[1];  Yang, YB[2];  Yu, W[3];  Lu, WB[4];  Ding, WG[5] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/31 amorphous silicon nano-particles  a-SiNx : H  HWP-CVD   Growth of nanocrystalline silicon films by helicon wave plasma chemical vapour deposition 期刊论文 CHINESE PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 21, 期号: 7, 页码: 1320-1322 作者:  Yu, W[1];  Wang, BZ[2];  Lu, WB[3];  Yang, YB[4];  Han, L[5] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/31 Structural and optical properties of hydrogenated amorphous silicon carbide films by helicon wave plasma-enhanced chemical vapour deposition 期刊论文 JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2004, 卷号: 37, 期号: 23, 页码: 3304-3308 作者:  Yu, W[1];  Lu, WB[2];  Han, L[3];  Fu, GS[4] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/31