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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2017    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 An Electrostatic Vertical Comb-Drive Micromirror with Self-aligned Assembly 会议论文 2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS), 2017-01-01 作者:  Fan, Yanjun[1];  Cui, Can[2];  Yu, Huijun[3];  Shen, Wenjiang[4];  Wang, Zhi[5] 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/04/24 MEMS  vertical comb drive  self-aligned