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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of thick, high-quality strained SiGe layer on ultra-thin silicon-on-insulator and modeling of film strain 期刊论文 MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2004, 卷号: 7, 期号: 4-6, 页码: 393-397 Di, ZF; Zhang, M; Liu, WL; Lin, CL; Chu, PK 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/03/24 COMPLIANT SUBSTRATE  RAMAN-SCATTERING  INFRARED DETECTORS  ALLOYS  TRANSISTORS  MOBILITY  GROWTH  HOLE  ENHANCEMENT  TRANSPORT   DEPOSITION AND MODIFICATION OF TITANIUM NITRIDE BY ION-ASSISTED ARE DEPOSITION 期刊论文 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1995, 卷号: 13, 期号: 3, 页码: 1658-1664 BENDAVID, A; MARTIN, PJ; WANG, X; WITTLING, M; KINDER, TJ 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/03/25 FILTERED ARC EVAPORATION  THIN-FILMS  ELASTIC-CONSTANTS  BOMBARDMENT  TIN  COATINGS  GROWTH  STRESS  MICROSTRUCTURE  ORIENTATION