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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Physics, Fluids & Plasmas     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Smooth Surface Morphology of Hydrogenated Amorphous Silicon Film Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 期刊论文 PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 569-575 Yan, X; Feng, F; Zhang, J; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/03/24 A-SI-H  THIN-FILMS  ION-BOMBARDMENT  LOW-TEMPERATURE  SILANE PLASMA  GROWTH  PECVD  DIFFUSION  ROUGHNESS  FREQUENCY