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STUDIES ON EXCIMER-LASER DOPING OF GAAS USING SULFUR ADSORBATE AS DOPANT SOURCE 期刊论文
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 1994, 卷号: 58, 期号: 2, 页码: 191-195
ZHANG,SK; SUGIOKA,K; FAN,J; TOYODA,K; Zou,SC
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