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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [2]
学科主题
光学材料;晶体 [2]
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射频磁控溅射法制备TiO2-xNX薄膜的结构性能研究
期刊论文
人工晶体学报, 2008, 卷号: 37, 期号: 5, 页码: 1127, 1131
冯磊
;
罗士雨
;
黄涛华
;
林辉
;
滕浩
;
汪洪
;
周圣明
收藏
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浏览/下载:752/114
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提交时间:2009/09/24
TiO2
射频磁控溅射
氮掺杂
X射线光电子能谱
Absorption edges
Crystallinity
N doping
N-doped
Preferred orientations
Red shifts
RF magnetron sputtering
Room temperatures
Si (100) substrates
Structure and properties
TiO
2
Titanium oxide films
Visible lights
X-ray diffractions
X-ray photoelectron spectroscopies
非晶硅薄膜制备及其晶化特性研究
期刊论文
人工晶体学报, 2008, 卷号: 37, 期号: 5, 页码: 1191, 1194
罗士雨
;
冯磊
;
汪洪
;
林辉
;
滕浩
;
黄涛华
;
周圣明
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浏览/下载:721/113
  |  
提交时间:2009/09/24
磁控溅射
Amorphous silicon films
非晶硅
Annealing temperatures
多晶硅
Before and after
Crystallization properties
K9 glasses
Low temperatures
Polycrystalline silicon
Raman spectrums
Scattering peaks
Si films
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