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An MD Study of the Temperature Effect on H Interacting with SiC(100) 期刊论文
2012, 期号: 12, 页码: 1121-1124
作者:  Sun WZ(孙伟中);  Zhao CL(赵成利);  Zhang JY(张俊源);  Chen F(陈峰);  Gou FJ(苟富均)
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Angular Effects on F~+ Etching SiC:MD Study 期刊论文
2012, 期号: 12, 页码: 1102-1105
作者:  Chen X(陈旭);  Tian SP(田树平);  He PN(贺平逆);  Zhao CL(赵成利);  Sun WZ(孙伟中)
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Etching Mechanisms of CF3 Etching Fluorinated Si:Molecular Dynamics Simulation 期刊论文
2012, 期号: 7, 页码: 670-674
作者:  Zhao CL(赵成利);  Deng CY(邓朝勇);  Sun WZ(孙伟中);  Zhang JY(张浚源);  Chen F(陈峰)
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