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科研机构
贵州大学 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
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2012 [3]
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An MD Study of the Temperature Effect on H Interacting with SiC(100)
期刊论文
2012, 期号: 12, 页码: 1121-1124
作者:
Sun WZ(孙伟中)
;
Zhao CL(赵成利)
;
Zhang JY(张俊源)
;
Chen F(陈峰)
;
Gou FJ(苟富均)
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提交时间:2020/01/02
Angular Effects on F~+ Etching SiC:MD Study
期刊论文
2012, 期号: 12, 页码: 1102-1105
作者:
Chen X(陈旭)
;
Tian SP(田树平)
;
He PN(贺平逆)
;
Zhao CL(赵成利)
;
Sun WZ(孙伟中)
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提交时间:2020/01/05
Etching Mechanisms of CF3 Etching Fluorinated Si:Molecular Dynamics Simulation
期刊论文
2012, 期号: 7, 页码: 670-674
作者:
Zhao CL(赵成利)
;
Deng CY(邓朝勇)
;
Sun WZ(孙伟中)
;
Zhang JY(张浚源)
;
Chen F(陈峰)
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提交时间:2020/01/02
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