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科研机构
上海微系统与信息技术... [9]
内容类型
期刊论文 [9]
发表日期
2012 [4]
2008 [1]
1996 [2]
1995 [1]
1988 [1]
学科主题
Chemistry;... [2]
Physics [2]
Chemistry,... [1]
Coatings &... [1]
Electroche... [1]
Materials ... [1]
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Chemical Mechanical Polishing of Ge2Sb2Te5 Using Abrasive-Free Solutions of Iron Trichloride
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2012, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 38301
Yan, WX
;
Wang, LY
;
Zhang, ZF
;
He, AD
;
Zhong, M
;
Liu, WL
;
Wu, LC
;
Song, ZT
收藏
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浏览/下载:66/0
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提交时间:2013/04/17
Mechanism of Ge2Sb2Te5 chemical mechanical polishing
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 12, 页码: 5185-5190
Wang, LY
;
Song, ZT
;
Zhong, M
;
Liu, WL
;
Yan, WX
;
Qin, F
;
He, AD
;
Liu, B
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/04/17
CMP
GST
Mechanism
Mechanism of Ge2Sb2Te5 chemical mechanical polishing
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 12, 页码: 5185-5190
Wang, LY
;
song, zt(重点实验室)
;
Zhong, M
;
Liu, WL
;
Yan, WX
;
Qin, F
;
He, AD
;
Liu, B(重点实验室)
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2013/05/10
Chemistry
Materials Science
Physics
Physics
Physical
Coatings & Films
Applied
Condensed Matter
Chemical Mechanical Polishing of Ge2Sb2Te5 Using Abrasive-Free Solutions of Iron Trichloride
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2012, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 38301
Yan, WX
;
Wang, LY
;
Zhang, ZF
;
He, AD
;
Zhong, M
;
Liu, WL
;
Wu, LC
;
song, zt(重点实验室)
收藏
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2013/05/10
Physics
Multidisciplinary
Fabrication and electrical and photosensitive properties of silicon nanowire p-n homojunctions
期刊论文
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE, 2008, 卷号: 205, 期号: 1 Pages, 页码: 2722-2728
Fang, GJ
;
Cheng, YZ
;
Ai, L
;
Li, C
;
He, J
;
Wang, C
;
Huang, HH
;
Yuan, LY
;
Zhao, XZ
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/05/12
Transmission electron microscopy and spectroscopic ellipsometry studies of damage layer induced by large tilt angle ion implantation
期刊论文
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1996, 卷号: 143, 期号: 8, 页码: 2636-2640
He,ZP
;
Cristiano,F
;
Zhou,ZY
;
Qian,YH
;
Chen,LY
;
Lin,CL
;
Hemment,PLF
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/25
P+-N
Analysis of implantation-induced damage and amorphization of GaSb
期刊论文
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH, 1996, 卷号: 157, 期号: 1, 页码: 57-63
Zheng, YX
;
Chen, LY
;
Zhou, SM
;
Wang, YD
;
Qian, YH
;
Lin, CL
;
He, ZP
;
Zheng, AS
;
Li, JM
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/25
ION-IMPLANTATION
CHARACTERISTICS OF HIGH-ENERGY N+-IMPLANTED DAMAGE IN GASB
期刊论文
SOLID STATE COMMUNICATIONS, 1995, 卷号: 96, 期号: 8, 页码: 593-596
ZHENG, YX
;
QIAN, YH
;
CHEN, LY
;
ZHOU, SM
;
WANG, YD
;
LIN, CL
;
HE, ZP
;
ZHENG, AS
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/25
NITROGEN PAIRS
GAP
INFLUENCE OF CARBON-DIOXIDE IN THE DETERMINATION OF OXYGEN IN COPPER BY REDUCTION FUSION
期刊论文
TALANTA, 1988, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 479-483
LI, ML
;
TANG, M
;
SUN, ZC
;
WU, LY
;
TANG, SM
;
WANG, GW
;
HE, HN
;
YAN, RH
;
ZHAO, GD
;
LU, QR
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/25
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