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长春光学精密机械与物... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2013 [1]
2012 [1]
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专题:长春光学精密机械与物理研究所
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基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响
期刊论文
摩擦学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 29-35
胡明
;
高晓明
;
张立平
;
伏彦龙
;
杨军
;
翁立军
;
刘维民
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2014/03/07
ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜
基体偏压
微观结构
机械及摩擦学性能
Cr/Ag纳米多层薄膜膜-基结合强度及摩擦学性能研究
期刊论文
摩擦学学报, 2012, 期号: 06, 页码: 544-549
胡明
;
张立平
;
高晓明
;
伏彦龙
;
杨军
;
翁立军
收藏
  |  
浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2013/03/11
磁控溅射
Cr/Ag纳米多层薄膜
膜-基结合强度
摩擦学性能
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