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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种新的光刻机像质参数热漂移检测技术 期刊论文 中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 12, 页码: 1668, 1672 张冬青; 王向朝; 施伟杰; 马明英; 王帆 收藏  |  浏览/下载：1207/245  |  提交时间：2009/09/18 测量  measurement  最佳焦面热漂移  thermal drift of best focus  放大倍率热漂移  thermal drift of magnification  投影物镜  projection lens  光刻机  lithographic tool  原位检测  in-situ measurement