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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 沉积参量及时效时间对SiO2薄膜残余应力的影响 期刊论文 光学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 1, 页码: 126, 130 邵淑英; 田光磊; 范正修; 邵建达 收藏  |  浏览/下载：624/126  |  提交时间：2009/09/22 薄膜光学  thin film optics  SiO2薄膜  SiO2 films  残余应力  residual stress  沉积温度  deposition temperature  氧分压  oxygen partial pressure  时效  aging