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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influence of adsorption kinetics on stress evolution in magnetron-sputtered SiO2 and SiNx films 期刊论文 j. appl. phys., 2013, 卷号: 114, 期号: 3, 页码: 034305 作者:  Li, Jingping;  Fang, Ming;  He, Hongbo;  Shao, Jianda;  Li, Zhaoyang 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28 磁控溅射硅基薄膜应力演化实时研究 期刊论文 强激光与粒子束, 2013, 卷号: 25, 期号: 11, 页码: 2826 作者:  李静平;  方明;  贺洪波;  邵建达;  李朝阳 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/28 氧碘激光器相位延迟片的制备与性能研究 期刊论文 中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 2, 页码: 277, 280 黄建兵; 王英剑; 邓志; 邵建达; 范正修 收藏  |  浏览/下载：657/93  |  提交时间：2009/09/22 薄膜  相移  反射式  氧碘激光器  thin films  phase shift  reflection-induced  chemical oxygen-iodine laser