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上海光学精密机械研... [24]
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期刊论文 [16]
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会议论文 [3]
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Image grating metrology using phase-stepping interferometry in scanning beam interference lithography
会议论文
作者:
Xiang, XianSong
;
Li, Minkang
;
Wei, Chunlong
;
Jia, Wei
;
Lu, Yancong
收藏
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浏览/下载：38/0
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提交时间：2017/12/25
Image grating metrology using phase-stepping interferometry in scanning beam interference lithography
会议论文
作者:
Li, Minkang
;
Xiang, Changcheng
;
Lu, Yancong
;
Jia, Wei
;
Wei, Chunlong
收藏
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浏览/下载：27/0
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提交时间：2017/12/25
高精度平面子孔径拼接算法研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
朱鹏辉
收藏
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浏览/下载：25/0
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提交时间：2016/11/28
大口径平面
干涉测量
子孔径拼接
累积误差
伪剪切干涉
Multichannel optimal control algorithm for adaptive optics system
期刊论文
Optik, 2016, 卷号: 127, 期号: 18, 页码: 7210
作者:
Yan, Zhao-jun
;
Yang, Peng-qian
收藏
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浏览/下载：15/0
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提交时间：2017/12/25
Multichannel optimal control algorithm for adaptive optics system
期刊论文
Optik, 2016, 卷号: 127, 期号: 18, 页码: 7210
作者:
Yan, Zhao-jun
;
Yang, Peng-qian
收藏
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浏览/下载：17/0
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提交时间：2017/12/25
全光纤相干多普勒激光雷达非线性最小二乘风速反演方法及实验研究
期刊论文
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 9, 页码: 914003
作者:
刁伟峰
;
刘继桥
;
竹孝鹏
;
刘源
;
张鑫
收藏
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浏览/下载：43/0
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提交时间：2016/11/28
Application of Calibration Curve Method and Partial Least Squares Regression Analysis to Quantitative Analysis of Nephrite Samples Using XRF
期刊论文
光谱学与光谱分析, 2015, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 245
作者:
Liu Song
;
Su Bo-min
;
Li Qing-hui
;
Gan Fu-xi
收藏
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浏览/下载：13/0
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提交时间：2016/11/28
Analytical analysis of the impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging
期刊论文
j. micro-nanolithogr. mems moems, 2015, 卷号: 14, 期号: 4, 页码: 43504
作者:
Shen, Lina
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Yan, Guanyong
收藏
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浏览/下载：13/0
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提交时间：2016/11/28
Analytical analysis for impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging quality
会议论文
conference on optical microlithography xxviii
作者:
Shen, Lina
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Yan, Guanyong
收藏
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浏览/下载：13/0
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提交时间：2016/11/28
投影物镜偏振像差对光刻成像质量影响的解析分析方法
期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 611003
作者:
沈丽娜
;
李思坤
;
王向朝
;
闫观勇
收藏
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浏览/下载：12/0
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提交时间：2016/11/28
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