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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Laterally Electrostatically Driven Poly 3C-SiC Folded-Beam Resonant Microstructures 期刊论文 半导体学报, 2008, 卷号: 29, 期号: 8, 页码: 1453-1456 作者:  Wang Liang;  Ning Jin;  Zhao Yongmei;  Liu Xingfang 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/11/23 Simulation and fabrication of the SiC-based clamped-clamped filter 会议论文 9th international conference on solid-state and integrated-circuit technology, beijing, peoples r china, oct 20-23, 2008 Zhao, YM; Ning, J; Sun, GS; Liu, XF; Wang, L; Ji, G; Wang, L; Zhao, WS; Li, JM; Yang, FH 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2010/03/09 MICROMECHANICAL RESONATORS  FREQUENCY