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广东海洋大学 [3]
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期刊论文 [3]
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MICROSTRUCTURE AND DIELECTRIC PROPERTIES OF SILICON CARBONITRIDE DIELECTRIC BARRIER FILMS DEPOSITED BY SPUTTERING
期刊论文
2018, 卷号: 25, 期号: 3
作者:
Peng, Yinqiao[1]
;
Zhou, Jicheng[2]
;
Gong, Jiehong[3]
;
Yu, Qinrong[3]
;
Lei, Guibin[4]
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2019/12/26
Microstructure and optical properties of SiCN thin films deposited by reactive magnetron sputtering
期刊论文
2014, 卷号: 131, 页码: 148
作者:
Peng, Yinqiao[1]
;
Zhou, Jicheng[2]
;
Gong, Jiehong[3]
;
Yu, Qinrong[3]
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2019/12/26
Structural and optical properties of the SiCN thin films prepared by reactive magnetron sputtering
期刊论文
2011, 卷号: 257, 期号: 9, 页码: 4010
作者:
Peng, Yinqiao[1,2]
;
Zhou, Jicheng[1]
;
Zhao, Baoxing[1]
;
Tan, Xiaochao[1]
;
Zhang, Zhichao[1]
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浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2019/12/26
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