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Non-Uniformity of Ion Implantation in Direct-Current Plasma Immersion Ion Implantation 期刊论文
中国物理快报:英文版, 2010, 卷号: 第27卷, 页码: 180-183
作者:  Liu CS(刘成森);  Wang DZ(王德真);  Fan YJ(范宇佳);  Zhang N(张楠);  Guan L(关力)
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Two-dimensional particle-in-cell plasma source ion implantation of a prolate spheroid target 期刊论文
中国物理:英文版, 2010, 卷号: 第19卷, 页码: 363-366
作者:  Liu CS(刘成森);  Han HY(韩宏颖);  Peng XQ(彭晓晴);  Chang Y(昶叶);  Wang DZ(王德真)
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Non-Uniformity of Ion Implantation in Direct-Current Plasma Immersion Ion Implantation 期刊论文
Chinese Physics Letters, 2010, 卷号: Vol.27 No.7, 页码: 075201
作者:  Liu Cheng-Sen;  Wang De-Zhen;  Fan Yu-Jia;  Zhang Nan;  Guan Li and Yao Yuan
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Two-dimensional temperature distribution inside a hemispherical bowl-shaped target for plasma source ion implantation 期刊论文
Chinese physics, 2005, 卷号: Vol.14 NO.1, 页码: 163-168
作者:  Wang Yan-Hui;  Wang De-Zhen;  Liu Cheng-Sen
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Interior Surface Plasma Immersion Ion Implantation of an Oval Tube 会议论文
第11届等离子基离子注入与沉积国际会议, 哈尔滨, 2011
作者:  Cheng-Sen Liu;  De-Zhen Wang
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