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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：中国科学院大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influence of methane flow on the microstructure and properties of tial-doped a-c:h films deposited by middle frequency reactive magnetron sputtering 期刊论文 Surface and interface analysis, 2009, 卷号: 41, 期号: 12-13, 页码: 924-930 作者:  Pang, Xianjuan;  Shi, Lei;  Wang, Peng;  Xia, Yanqiu;  Liu, Weimin 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2019/05/10 Magnetron sputtering  Hydrogenated tial-doped a-c:h film  Structure  Tribological properties