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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2012 [1]
2006 [1]
2005 [1]
学科主题
Chemistry;... [1]
Engineerin... [1]
Engineerin... [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Chemical mechanical polishing of stainless steel foil as flexible substrate
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 15, 页码: 5798-5802
Hu, XK
;
Song, ZT
;
Liu, WL
;
Qin, F
;
Zhang, ZF
;
Wang, HB
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/04/17
Chemical mechanical polish
Stainless steel
Flexible substrate
Colloidal silica
Electrochemical corrosion
The influence of substrate bias in I-PVD process on the properties of Ti and Al alloy films
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS, 2006, 卷号: 17, 期号: 11, 页码: 931-935
Zhang, WJ
;
Yi, L
;
Tao, K
;
Ma, Y
;
Chang, PY
;
Wu, J
收藏
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浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
ELECTROMIGRATION
TEXTURE
INTERCONNECTS
MICROSTRUCTURE
METALLIZATION
UNDERLAYER
ROUGHNESS
Direct measurement of surface roughness of corner mirrors after vacuum annealing
期刊论文
IEE PROCEEDINGS-OPTOELECTRONICS, 2005, 卷号: 152, 期号: 6, 页码: 353-355
Wang, Y
;
Gao, F
;
Jiang, J
;
Cao, G
;
Zhang, F
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2012/03/24
SILICON-ON-INSULATOR
SIDEWALL ROUGHNESS
TURNING MIRRORS
WAVE-GUIDES
TECHNOLOGY
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