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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Smooth Surface Morphology of Hydrogenated Amorphous Silicon Film Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 期刊论文 PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 569-575 Yan, X; Feng, F; Zhang, J; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/03/24 A-SI-H  THIN-FILMS  ION-BOMBARDMENT  LOW-TEMPERATURE  SILANE PLASMA  GROWTH  PECVD  DIFFUSION  ROUGHNESS  FREQUENCY   Tribological Characterization of Several Silicon-Based Materials Under Ionic-Liquids Lubrication 期刊论文 TRIBOLOGY LETTERS, 2009, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 247-257 Xie, GX; Wang, Q; Si, LN; Liu, SH; Li, G 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/03/24 STEEL CONTACT  DLC FILMS  COATINGS  BEHAVIOR  MEMS  ADDITIVES  PERFORMANCE  MEMS/NEMS  CERAMICS  FRICTION   Investigation of the running-in process and friction coefficient under the lubrication of ionic liquid/water mixture 期刊论文 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2009, 卷号: 255, 期号: 12, 页码: 6408-6414 Xie, GX; Liu, SH; Guo, D; Wang, Q; Luo, JB 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/03/24 LIQUIDS  CONTACTS  WATER  ADDITIVES  CERAMICS  FILMS   Tribological Characterization of Several Silicon-Based Materials Under Ionic-Liquids Lubrication 期刊论文 TRIBOLOGY LETTERS, 2009, 卷号: 36, 期号: 3 Pages, 页码: 247-257 Xie, GX; Wang, Q; Si, LN; Liu, SH; Li, G 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2012/05/12